一般光学系
マイクロレンズアレイ
当社の1次元または2次元のマイクロレンズアレイ (MLA) を使用して、非常にコンパクトなコリメーションおよび集束システムを作成してください。
Coherent MLAは通常、個々のレンズレットが正方形または六角形の周期パターンに配置され、レンズピッチが数百マイクロメートルで構成されます。ナノインプリンティング、フォトリソグラフィー、ガラスモールドを使用して製造できます。
マイクロレンズアレイの機能
Coherentは、さまざまな材料でさまざまな構造のMLAを製造できます。近赤外MLAの大量生産は、6インチのSiウェーハ上で実現できます。
シリコンマイクロレンズアレイの仕様
材料仕様 |
|
材料 |
シリコン |
反射率 |
≈ 3.42 |
透明性 |
R < 0.2% T >99% @ 1260～1340 nm |
製造仕様 |
|
直径 |
600 ± 5 μm |
厚さ |
400 ± 10 μm |
ピッチ |
750 ± 1 μm |
クリア開口部 |
>510 nm |
曲率半径 |
3.0 mm |
円錐曲線 |
0 |
表面粗さ |
< 5 nm RMS |
レンズ面形状のずれ |
< 35 nm RMS |
表面品質 |
スクラッチ/ディグ:5/1 x 0.025 (ISO 10110-7準拠) |
チッピング |
< 100 μm |
エッジの垂直性 |
90 ± 2° |
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