Allgemeine Optiken
Mikrolinsen-Arrays
Erstellen Sie hochkompakte Kollimations- und Fokussierungssysteme mit unseren ein- oder zweidimensionalen Mikrolinsen-Arrays (MLAs).
Bei MLAs von Coherent sind die einzelnen Linsen typischerweise in einem quadratischen oder sechseckigen periodischen Muster angeordnet, mit einem Linsenabstand von einigen hundert Mikrometern. Sie können durch Nanoimprinting, Photolithographie und Glasformung hergestellt werden.
Fähigkeiten von Mikrolinsen-Arrays
Coherent kann MLAs mit einer Vielzahl von Strukturen in verschiedenen Materialien herstellen. Die Großserienproduktion von Nahinfrarot-MLAs kann auf 6-Zoll-Si-Wafern durchgeführt werden.
Spezifikationen von Silizium-Mikrolinsen-Arrays
Materialspezifikationen |
|
Material |
Silizium |
Reflektierender Index |
≈ 3,42 |
Transparenz |
R < 0,2 % T >99 % bei 1.260 – 1.340 nm |
Herstellungsspezifikationen |
|
Durchmesser |
600 ± 5 μm |
Dicke |
400 ± 10 μm |
Pitch |
750 ± 1 μm |
Transparente Apertur |
>510 nm |
Krümmungsradius |
3,0 mm |
Konisch |
0 |
Oberflächenrauigkeit |
<5 nm RMS |
Abweichung des Linsenoberflächenprofils |
<35 nm RMS |
Oberflächenqualität |
Kratzen-Bohren: 5/1x0,025 basierend auf ISO 10110-7 |
Zerspanung |
< 100 μm |
Kantenvertikalität |
90 ± 2° |
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Optische Fertigungskapazitäten
Erfahren Sie mehr über die vertikal integrierten Kapazitäten für Materialwachstum, Herstellung, Beschichtung und Montage sowie die strenge Qualitätssicherung bei Coherent. Entdecken Sie, wie diese die Leistung und Zuverlässigkeit unserer Optiken gewährleisten und Risiken und Unsicherheiten in der Lieferkette minimieren.
