通用光学元件

微透镜阵列

Micro Lens Array

使用我们的一维或二维微透镜阵列 (MLA)，打造高度紧凑的准直和聚焦系统。

Coherent MLA 通常配置有以正方形或六边形周期性图案排列的单个小透镜，透镜间距为几百微米。它们可以使用纳米压印、光刻和玻璃成型工艺进行制造。

微透镜阵列功能

Coherent 可以使用多种材料生产多种结构的 MLA。可以在 6 英寸硅晶圆上大批量生产近红外 MLA。 

数据表

硅微透镜阵列规格

材料规格

材料

硅

反射率

≈ 3.42

透明度

R <0.2% T >99% @ 1260-1340 nm

制造规格

直径

600 ±5 μm

厚度

400 ±10 μm

间距

750 ±1 μm

通光孔径

>510 nm

曲率半径

3.0 mm

锥形

0

表面粗糙度

<5 nm RMS

透镜表面轮廓偏差

<35 nm RMS

表面质量

刮痕：5/1x0.025（基于 ISO 10110-7）

崩裂

<100 μm

边缘垂直度

90 ±2°

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