VarioLas

強力なCOMPexエキシマレーザをベースとしたシステムは、ラインビームまたはスクエアビームフィールド形状による高品質UV微細加工のための柔軟なツール。

優れた光学設計、強固な機械構造、パルス間安定性に優れたエキシマレーザにより、精密な加工が可能です。レーザリフトオフ（LLO）分離、ドーパントイオンの活性化、アブレイティブパターニング、薄膜レーザアニーリングなどの用途があります。

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VarioLasの高エネルギー密度（最大7.5J/cm2）と100Hzのパルス繰返周波数により、正確なアブレーションまたは材料変形が可能です。

データシート

製品仕様

関連製品

COMPex UVレーザは、要求の厳しいアプリケーション向けに、数百mJのパルスエネルギーを高パルス間安定性および優れたビーム均一性とともに提供します。

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