Lasermaschinen und Systeme

VarioLas

VarioLas Product Image

Systeme auf Basis des leistungsstarken COMPex Excimer-Lasers sind flexible Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit einem Linienstrahl oder einer quadratischen Strahlfeldform.

Überlegenes optisches Design, robuste Mechanik und ein Excimer-Laser mit unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungen gehören die Laser-Schichtseparation (LLO), die Dotierstoffionenaktivierung, die ablative Strukturierung und das Dünnschichtglühen.

VarioLas – Wichtige Leistungskennzahlen

Mit der hohen (bis zu 7,5 J/cm2) Energiedichte und 100 Hz Pulswiederholfrequenz von VarioLas erhalten Sie präzise Abtrags- oder Materialmodifikationsergebnisse.

 

Datenblätter

Produktspezifikationen

Parameter 

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas Sweep 

Feldform

Quadratisch  

Quadratisch  

Linie  

Feldgröße (mm2) 

2 x 2 

2 x 2 

50 x 0,6 

Optische Auflösung (µm)

30 

5 

– 

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