레이저 머신 및 시스템

VarioLas

VarioLas Product Image

강력한 COMPex 엑시머 레이저를 기반으로 하는 시스템은 라인 빔 또는 사각 빔 필드 모양을 사용하여 고품질 UV 미세 처리를 위한 유연한 도구입니다.

탁월한 광학 설계, 견고한 역학 및 탁월한 펄스 대 펄스 안정성을 갖춘 엑시머 레이저가 정밀한 결과를 제공합니다. 응용 분야에는 LLO(Laser Lift-Off) 분리, 도펀트 이온 활성화, 절제 패터닝 및 박막 어닐링이 포함됩니다.

VarioLas – 몇 가지 주요 성과 지표

VarioLas의 높은(최대 7.5J/cm2) 에너지 밀도와 100Hz 펄스 반복 주파수로 정밀한 어블레이션 또는 재료 수정 결과를 얻을 수 있습니다.

 

데이터 시트

제품 사양

매개변수 

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas Sweep 

필드 모양

정사각형  

정사각형  

Line  

필드 크기(mm 2) 

2 x 2 

2 x 2 

50 x 0.6 

광학 해상도(µm)

30 

5 

– 

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