UV-Lasersysteme

Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen Hochenergie-UV-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und mehr konfiguriert sind.

  • Vertikale Integration Vermeiden Sie Risiken und genießen Sie den rund-um-die-Uhr-Betrieb mit unseren langlebigen Lasern, Optiken und Mechaniken.
  • Bewährte Industriewerkzeuge Verlassen Sie sich auf dieselbe Basistechnologie, die leistungsstarke mobile Displays herstellt.
  • UV-Wellenlängenoptionen Wählen Sie aus 193-, 248- und 308-nm-Systemen sowie benutzerdefinierten 157- oder 351-nm-Optionen.
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Unser Know-how im UV-Laserprozess

Mit 50 Jahren Erfahrung mit UV-Lasern und optischen Systemen verstehen wir die Herausforderungen bei der Verwendung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen. Dank vertikaler Integration konstruieren, fertigen und montieren wir komplette Systeme nach höchsten Standards.

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UVtransfer

Ein einzigartiges 3-in-1-System für die Herstellung von MicroLED-Displays, das Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur/Trimming mit hohem Durchsatz ermöglicht.

  • 3-in-1-Wert – Ein System für alle drei Prozesse.
  • Hoher Durchsatz – Der Hochenergie-Excimer-Laser unterstützt große Feldgrößen.
  • Zukunftssicher – Bewältigt die Größen von 50 bis 5 µm.
LineBeam VYPER

LineBeam

LineBeam UV-Lasersysteme ermöglichen die Massenfertigung von Niedertemperatur-Polysilizium(LTPS)-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.

  • Langer Linienstrahl – Bis zu 1500 mm.
  • Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ).
  • Große Brennweite – Bis zu ±150 µm.
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UVblade

UVblade Excimer-Laser bieten eine kosteneffektive Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und breiter Skalierbarkeit in Linienlängen und Energiedichte.

  • Hohe Homogenität – 1,8 %
  • Große Brennweite – Bis zu ±200 µm.
  • Hohe Pulsenergie – Bis zu 2000 mJ.
UV Optical Components Product Image

Excimer Beam Delivery Optics

Holen Sie sich überlegene optomechanische Werkzeuge für eine optimierte Excimer-Strahlabgabe Für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.

  • Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung.
  • Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung.
  • Maskenbildprojektion – 4–10-fache Verkleinerung.
VarioLas Product Image

VarioLas

VarioLas Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit Linienstrahl oder quadratischer Strahlfeldform.

  • Hohe Energiedichte – Bis zu 7,5 J/cm².
  • Vielseitig und verstellbar – Linien- oder Vierkantprofil.
  • Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC

GeoLasGC

GeoLasGC Excimer-UV-Systeme kombinieren 193 nm-Pulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und HD-Kamerabeobachtung für die Laserablation ICP-MS.

  • Hohe optische Auflösung – 1 µm.
  • Variabler Probenfleck – 2–160 µm.
  • Hohe Pulsstabilität – 1 % (rms).
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Was sind MicroLED-Displays?

MicroLEDs (µLEDs) sind eine relativ neue Technologie, die brillante, hochauflösende Displays ermöglicht. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf mehr als 10 Milliarden US-Dollar wachsen – und Laser spielen bei ihrer Herstellung eine entscheidende Rolle.

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