Gepulste Laserabscheidung (PLD)

Nutzen Sie PLD, um mit unseren einzigartig leistungsstarken Excimerlasern schnell viele verschiedene Arten von Filmen zu erzeugen.

Stöchiometrische Schichten Verlassen Sie sich auf unsere stabilen Excimerlaser, um stöchiometrische Schichten mit vollständiger Dickenkontrolle zu erhalten.
Schnellere Ablagerung Produzieren Sie großflächige Filme schneller mit der hohen Pulsenergie unserer Excimerlaser.
Dreischicht-PLD Dank der bewährten Betriebszeit und Zuverlässigkeit unserer Laser können Sie Ihre Produktion rund um die Uhr betreiben.

Vielseitige Ablagerung

Immer mehr Technologien und Branchen sind auf Dünnschichten angewiesen, darunter OLED-Bildschirme, MEMS, Halbleiter, Photovoltaik, medizinische Sensoren, Mobiltelefone und moderne Batterien. PLD ist häufig die Produktionsmethode der Wahl, da sie mit so unterschiedlichen Materialien wie diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC), Perowskiten, Piezoelektrika und Hochtemperatursupraleitern (HTS) gut funktioniert. In all diesen Fällen ermöglichen unsere Excimerlaser PLD mit hoher Geschwindigkeit, präziser Tiefenkontrolle und hochpräziser Stöchiometrie.

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Produktanwendungen

Supraleitender Draht/Band

Nutzen Sie die hohe Leistung der LEAP-Laser für die kostengünstige, großvolumige Produktion von HTS-Draht und -Bändern.

SuperHard DLC-Schichten

Erzeugen Sie mit LEAP-Lasern superharte DLC-Schichten bei niedrigen Temperaturen und geringer Eigenspannung.

Fortschrittliches Solar

Entwickeln Sie Perowskit-basierte Gerätesysteme und andere Photovoltaiksysteme der nächsten Generation mit COMPex-Lasern.

HOCHFREQUENZ-PIEZOFILTER

PLD mit Excimerlasern ermöglicht piezoelektrisches Scandium-dotiertes Aluminiumnitrid (Sc: AlN)-Dünnschichten für HF-Filter, die die für 5G und darüber hinaus erforderliche Piezo-Antwort- und Hochfrequenzeigenschaften liefern.

Dünnschicht-Wafer

PLD mit Excimerlasern kann komplexere und kristallinere Dünnschichten auf größeren (bis zu 300 mm) Wafern zur Verwendung in MEMS, Halbleitern, Photovoltaik und OLED-Bildschirmen herstellen.

Festkörper-Dünnschichtbatterien

PLD liefert fortschrittliche Festelektrolyte, einschließlich Anoden- und Kathodenmaterialien, mit einstellbarer Dichte und Stöchiometrie sowie Dickengenauigkeit im Nanometerbereich.

Ausgewählter Blog

PLD: von der Laborforschung bis zur vollständigen Produktion

Sehen Sie, wie durch Excimerlaserabscheidung hochwertige Schichten entstehen.

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Solmates: Excimerlaser: Fortschrittliche gepulste Laserdesposition

WIR STELLEN VOR: DEN COMPEX F2. DER LEISTUNGSSTÄRKSTE VUV-LASER AUF DEM MARKT

COMPex

COMPex UV-Laser liefern Hunderte von Millijoule Pulsenergie mit hoher Puls-zu-Puls-Stabilität und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit für anspruchsvolle Anwendungen.

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LEAP

LEAP UV Excimer-Laser bieten hohe Energie, hochpräzise Bearbeitung mit unserer Kombination aus hoher Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.

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LAMBDA SX

LAMBDA SX sind industrielle UV-Excimer-Laser für den Produktionsbereich mit stabilen Hochenergiepulsen, die eine großflächige UV-Bearbeitung mit Strahlstabilität unterstützen.

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Erfolgsgeschichte

UNIVERSITÄT AUGSBURG

„Dieser 248-nm-Excimerlaser hat sich für die PLD vieler verschiedener Oxide bewährt und bietet die Strahlhomogenität und hohe Puls-zu-Puls-Stabilität, die wir für aussagekräftige quantitative Studien benötigen.”

- Helmut Karl, Professor, Institut für Physik, Universität Augsburg, Deutschland

Video Spotlight:

Hochleistungs-Excimerlaser für Dünnschichtanlagen bei Solmates, Enschede

Mit Hilfe von Hochleistungs-Excimerlasern der LEAP-Serie, entwickeln Arjen Janssens und seine Kollegen bei Solmates in Enschede, Niederlande, eine innovative Anlage zur gepulsten Laserabscheidung die eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung zukünftiger Chipdesigns und der Integration neuer Dünnschichtmaterialien spielen wird. Erfahren Sie mehr über Lasertechnologie in der Dünnschichtindustrie.