UV Laser Systems
充分利用我们独特的高能量紫外激光器，以及为 LTPS、LLO、LIFT、PLD、LA-ICP-MS 等配置的完整光学系统。
- 垂直整合 使用我们寿命极长的激光器、光学器件和机械，避免风险并享受全天候运行。
- 久经验证的工业工具 依靠成就高性能移动显示屏的相同支持技术。
- 紫外光波长选项 从 193、248 和 308 nm 系统以及自定义 157 或 351 nm 选项中进行选择。
将我们的专业知识融入紫外激光工艺中
凭借在紫外激光器和光学系统领域 50 年的经验，我们充分理解管理、成型和聚焦准分子光束方面的挑战。得益于垂直整合，我们设计、制造和组装的完整系统能够满足严苛的标准。
UVtransfer
独特的三合一系统，用于 MicroLED 显示屏制造，支持激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复，并具备高吞吐量。
- 三合一价值 - 集成了所有三个工艺的单一系统。
- 高吞吐量 - 高能量准分子激光器支持大型场尺寸。
- 面向未来 - 可处理从 50 µm 一直到 5 µm 的芯片尺寸。
LineBeam
LineBeam 准分子紫外激光器有助于在大型基板上大规模制造低温多晶硅 (LTPS) 背板，良率极高。
- 长线光束 - 高达 1500 mm。
- 高度均匀 - 0.6 % (2σ)。
- 大焦深 - 高达 ±150 µm。
UVblade
UVblade 准分子激光器为 LLO 提供了一种经济高效的解决方案，在线长度和能量密度方面具有较高的光学效率和广泛的可扩展性。
- 高度均匀 - 1.8 %
- 大焦深 - 高达 ±200 µm。
- 高脉冲能量 - 高达 2000 mJ。
准分子光束传输光学部件
获取用于准分子光束传输的卓越的光学机械工具，针对高脉冲能量、短紫外光波长和高功率的独特组合进行了优化。
- 均匀光束 - <± 5% 通量变化。
- 可变衰减 - 精确的能量控制。
- 掩膜图像投影 - 4-10 倍的缩倍。
VarioLas
VarioLas 准分子紫外线激光器基于功能强大的 COMPex 准分子激光器，适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量紫外光微加工。
- 能量密度高 - 高达 7.5 J/cm²。
- 多功能且可调节 - 线或方形轮廓。
- 高光学分辨率 - ≥ 5 µm。
GeoLasGC
GeoLasGC 准分子激光剥蚀系统融合了 193 nm 高脉冲能量、高性能极化显微镜和高清摄像头观测等众多功能特性，用于实现激光剥蚀 ICP-MS。
- 高光学分辨率 - 1 µm。
- 可变样本点 - 2 - 160 µm。
- 高脉冲稳定性 - 1 % (rms)。
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什么是 MicroLED 显示屏？
MicroLED (µLED) 是一项相对较新的技术，用来制造鲜艳明亮的高分辨率显示屏。 未来五年，µLED 显示屏将增长为价值 100 亿美元以上的市场，而激光在助力其生产方面发挥着关键作用。
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