레이저 머신 및 시스템

엑시머 빔 전달 광학

UV Optical Components Product Image

높은 펄스 에너지, 짧은 UV 파장 및 높은 출력의 고유한 조합과 일치하는 우수한 품질의 광학 장치.

엑시머 레이저의 많은 응용 분야에는 빔을 투사, 균질화 및/또는 감쇠하기 위한 전달 광학 장치가 필요합니다. Coherent는 경험과 기술 지식의 비할 데 없는 조합을 사용하여 이 과제를 위한 광기계적 도구를 만듭니다. 

엑시머 빔 전달 광학 - 개요

표준 및 맞춤형 빔 전달 광학 장치와 광기계 모듈을 사용하여 엑시머 레이저 응용 분야를 단순화하십시오.

 

데이터 시트

제품 사양

상품 유형

주요 특징

감쇠기

가변 감쇠기에는 빔 워크오프를 제거하기 위한 보정판이 포함되어 있습니다. 

균질기

<± 5% 변동으로 5x5mm 또는 10x10mm 균일 필드 생성 

투사 렌즈

요청 시 더 높은 값으로 5X 또는 가변 4-10X 축소 

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