激光系统
UVtransfer
适用于 MicroLED 工艺开发和试点产品线应用的独特三合一系统，可执行激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和像素修复。
紫外光转移工艺可提供自动化、精度和通量来转移数亿个用于大型显示屏的芯片，并实现其经济可行性。 我们强大的准分子激光器可提供高吞吐量，这些激光器在显示屏行业的低温多晶硅 (LTPS) 退火中得到了长期验证。
UVtransfer - 概述
该系统构建于花岗岩运动模块，可提供无与伦比的精度，并基于高能 248 nm 紫外光激光，使得大型显示尺寸实现高吞吐量。
产品规格
关键特性 |
优势 |
三合一多功能 |
一次投资即可研究、优化和验证三个流程。 |
大型场尺寸 – 高达 16 x 2 mm2 |
高吞吐量。 |
支持所有芯片尺寸，从 50 µm 到 5 µm |
面向未来的技术。 |
久经验证的准分子激光源 |
消除技术风险。 |
深紫外光 |
与所有芯片材料兼容。 |
用户友好的软件自动化 |
无需经过大量培训即可轻松设置和优化。 |
