레이저 머신 및 시스템

LineBeam

LineBeam VYPER

LineBeam 시스템은 최고 수율의 대형 기판 패널에서 LTPS 백플레인을 대량 생산하는 데 사용되는 광학 기술입니다.

최대 Gen 10.5 패널 크기에 대해 최대 1500mm 길이의 라인 빔 프로파일을 제공합니다. 최대 처리량과 빔 활용을 위해 짧은 축과 긴 축 빔 균질성을 특징으로 합니다. 우수한 펄스 안정성 및 높은 피사계 심도로 대규모 프로세스 윈도우를 보장합니다.

LineBeam – 몇 가지 주요 성과 지표

308 nm의 단파장에서 단축과 장축 모두에서 우수한 균질성을 제공하는 LineBeam의 탑햇 빔 프로파일의 이점을 누리십시오.

 

데이터 시트

제품 사양

매개변수

값

라인 길이(mm)

750 

1000 

1300

1500

빔 프로파일 유형

양축에서 모자 상단면 프로파일 

초점 심도(µm)

±150 

±120

±120 

±120

장축 균질도(%)

0.6(2σ) 

단축 균질도(%)

0.8(2σ)