光学系
ニオブ酸リチウムウエハ
ニオブ酸リチウムの高屈折率と可視光線および赤外線透過率の独自の組み合わせを使用して、当社のウエハ上に導波路、変調器、センサーを作成します。
ニオブ酸リチウムは、高い化学安定性と熱安定性を備えた多機能材料です。 その高い屈折率 (> 2.3) はガラス (1.5) と比較して、導波路設計用にウエハ形式で製造された場合に、広い視野を実現します。
ニオブ酸リチウムウエハ
ニオブ酸リチウムウエハの製造において10年以上の経験を持つCoherentにお任せください。お客様の要件を正確に満たすウエハを提供します。
材料仕様 |
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材料 |
一致: LiNbO3 |
材料品質 |
気泡または含有物 < 100 μm 数量 <8, 30 μm < 気泡サイズ < 100 μm |
向き |
Yカット± 0.2° |
密度 |
4.65 g/cm3 |
キュリー温度 |
1142 ±1℃ |
透明性 |
>450～700 nmの厚さ10 mmで95% |
製造仕様 |
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直径 |
150 mm ± 0.2 mm |
厚さ |
350 μm ± 10 μm |
平坦度 総厚み変動 (TTV) 局所厚み変動 (LTV) たわみ 粗さ |
<1.3 μm ワープ < 70 μm @ 150 mm ウエハ < 70 μm @ 150 mmウエハ Rq ≤ 0.5 nm (AFMによるRMS値) |
表面品質 |
40-20 |
粒子 |
除去できない粒子: 100～200 μm ≤ 3つの粒子、 20～100 μm ≤ 20の粒子 |
チップ |
< 300 μm (ウエハ全体、除外ゾーンなし) |
割れ目 |
割れ目なし (フルウェハ) |
汚染 |
除去できない汚染なし (フルウェハ) |
平行度 |
< 30秒角 |
方向は平面を参照 (x軸) |
47 ± 2 mm |
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