レーザマシンとシステム
UVtransfer
MicroLEDプロセス開発およびパイロットライン用の3つの要素を兼ね備えた独自のシステム。レーザリフトオフ（LLO）、レーザ誘起前方転写（LIFT）、およびピクセルリペア/トリミングが実行されます。
UVtransfer は自動化、精度、スループットを提供することで大画面ディスプレイ用の数億のダイを移動し、経済的継続性を実現します。 LTPSレーザアニーリングではディスプレイ業界で長い実績を持つ高出力エキシマレーザにより、高スループットを得ることができます。
UVtransfer - 概要
システムは、卓越した精度を誇る花崗岩モーションモジュール上に構築され、大型フィールドサイズを使用して高スループットを得るために、高エネルギーの248 nm UVレーザを採用しています。
製品仕様
主な特長 |
メリット |
3つの要素を兼ね備えた多機能性 |
1回の投資で3つのプロセスを調査、最適化、検証。 |
大型フィールドサイズ – 最大16 x 2 mm2 |
高スループット。 |
すべてのダイのサイズ（50 ～ 5 µm）をサポート |
未来につながる技術。 |
実績のあるエキシマレーザソース |
技術的なリスクを排除。 |
Deep UV |
ほとんどすべての材料に対応。 |
ユーザーフレンドリーなソフトウェア自動化 |
セットアップと最適化が容易。大規模なトレーニングは不要。 |
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MicroLEDディスプレイ製造における革新
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