レーザ

IndyStar

IndyStar Product Image

193 nmまたは248 nmの波長で最大2 kHzのパルス繰返周波数のアプリケーション用に設計された、堅牢で高デューティサイクルの産業用エキシマレーザをご用意しました。

信頼性、耐久性、使いやすさ、そして高度なパルス制御を実現した生産ラインツールです。 IndyStarレーザは、インクジェットノズルの穴あけ、計測、光学試験などに広く使用されています。 フォトマスク検査や関連アプリケーションで使用されるSemi-S2準拠のレーザです。

IndyStarの主な性能指標の概要

193 nmまたは248 nmの波長、最大2 kHzの繰返周波数、最大12ワットの出力で動作します。 

データシート
モデル名 波長 (nm) 最大パルス繰返周波数（Hz） 最大パルスエネルギー（mJ） 最大出力（W）
IndyStar 1 kHz 193 1000 8 8
IndyStar 2 kHz 2000 4
IndyStar 1 kHz 248 1000
 12
 12
IndyStar 2 kHz 2000 6

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