レーザ

Azure NX

Azure NX

266 nmの連続発振が可能な小型の次世代型固体レーザです。そのプラットフォームは、半導体業界の産業環境に容易に組み込めるよう設計されています。

Azure NXは、単一周波数動作と絶対的な波長安定性が特徴です。 LANまたはWEB GUIによるハンズフリー操作が可能。最大1ワットのdeep-UV、狭線幅、24時間365日稼働の信頼性を兼ね備え、要求の厳しいアプリケーションに最適です。 

 

Azure NX 266-1000：主なパラメーター

この産業グレードの高性能266 nmレーザは、半導体検査、ラマン分光法、ファイバーブラッググレーティング（FBG）ライティング、リソグラフィなどに使用できます。 

データシート

製品仕様

モデル名

出力（W）

線幅（kHz）

 

ビーム位置（µrad）（能動安定化）

M2 

光ノイズ（%）

（10 Hz to 500 MHz）

Azure NX 266-1000 

1 

<500 

20 

<1.3 

<0.5 

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