SiC 衬底和外延片
SiC 外延片
利用 Coherent 高意直径高达 200 毫米的高性能 SiC 外延片生产晶圆,缩短上市时间、降低成本并提高器件性能。
Coherent 高意提供全面的 SiC 材料解决方案,包括带或不带缓冲层的厚外延层、低掺杂层、多层结构、p-n 结、嵌入/埋入结构和接触层等选项。我们为从研发到批量生产的整个产品生命周期提供支持。
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