엑시머 레이저로 박막 필름의 파일럿 및 볼륨 펄스레이저 증착법 공정 구현

과제

박막 필름 증착 기술은 MEMS, 반도체, 광전지, OLED 디스플레이, 5G 통신용 RF 필터 등 다양한 시장에 적용되고 있습니다. 점점 더 중요한 재료 특성을 가진 복합 신소재 시스템은 박막 필름 증착 기술의 지속적인 확장과 품질 개선을 필요로 하며, 공정 최적화의 유연성을 가능케 하는 동시에 광범위한 박막 필름 공정을 지원합니다. 네덜란드 엔스헤데에 위치한 펄스레이저 증착법(PLD) 기술 전문업체인 Solmates는 진화하는 박막 필름 산업을 위한 강력하고 사용자 친화적인 증착 장비 개발에 착수했습니다.

솔루션

Solmates 팀은 전도성 및 비전도성 기판에 복합적 화학양론의 물질을 증착시키기 위해 엑시머 레이저 광에 의존하는 물리적 기상 증착법인 PLD를 사용합니다. Solmates의 PLD 시스템은 증착 매개변수를 완전히 제어할 수 있어 조성, 결정도, 밀도, 다공성, 필름 응력 등 최종 박막 필름 특성의 설계가 가능합니다. 박막 필름 제조업체는 다른 증착 기술로는 얻을 수 없는 전기적, 광학적 박막 필름 특성을 얻을 수 있으며 새로운 재료 시스템 및 응용 분야에 진출할 수도 있습니다. Coherent LEAP 엑시머 레이저 시리즈는 PLD 시스템 처리량을 결정하는 높은(펄스당 최대 1줄) 에너지와 확장 가능한 전력(80~300W)의 조합을 위해 Solmates에서 선택했습니다. 또한 LEAP 레이저는 연중무휴 산업 안정성에 대한 확고한 실적을 보유하고 있으며 까다로운 대량 생산 환경에서 웨이퍼당 비용을 최소화합니다.

결과

이제 Solmates PLD 플랫폼은 파일럿 규모 및 대량 생산을 지원하기 위해 표준 클러스터 프레임에 통합할 수 있습니다. 최대 300mm의 산업용 웨이퍼 크기에 대한 고품질 PLD 공정이 출현함으로써 업계 고객들은 자사의 박막 필름 증착 기능을 확장하고 증착 포트폴리오에 약 30개의 새로운 소재 및 재료 시스템을 추가할 수 있습니다.

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