材料
金属マトリックス複合材料
高い比剛性と高い熱安定性を併せ持つ材料により、半導体プロセス装置の熱安定性を向上させます。
Coherent COGENTUM金属マトリックス技術は、半導体装置の性能を向上させ、高度な集積回路処理およびパッケージング技術の課題に対応する比類のない柔軟性を設計者に提供します。
COGENTUMの特性
2m×2mを超える大きさの構造物に鋳造できるさまざまな複合材料からお選びいただけます。
材料特性 |
CONGENTUM® Green |
CONGENTUM® Blue |
CONGENTUM® Gold |
密度 (g/cc) [ρ] |
2.78 |
2.80 |
2.96 |
ポアソン比 |
0.29 |
0.29 |
0.25 |
ヤング率 - GPa [E] |
125 |
143 |
200 |
CTE平均20～100 ºC (ppm/K) [α] |
15 |
12 |
11 |
熱伝導率 (W/m-K) [k] |
160 |
164 |
160 |
比熱（J/kg-K） |
820 |
800 |
730 |
極限引張強度 (MPa) |
370 |
320 |
340 |
破壊靱性 (MPa-m1/2) |
15 |
13 |
13 |
減衰率 (% ゼータ) |
0.26 |
0.26 |
0.58 |
比剛性 (E/ρ) |
45 |
51 |
68 |
熱安定性 (k/α) |
11 |
14 |
14 |
