AP 系统利用 DPSS 激光器革新 OLED 显示屏生产

行业挑战：领先下一代，超越下一代

AP Systems 成立于 1994 年，凭借其设备控制软件知识和集成专业知识，在半导体设备市场树立了良好的声誉。他们的业务覆盖范围包括中小型 LCD 设备、用于 300mm 晶圆的半导体加工设备和大型 LCD。他们是先进 ELA（准分子激光退火）、LLO（激光剥离）和 OLED 封装领域的领导者，这些是生产 OLED 面板所需的激光器设备。

在竞争激烈的 OLED 显示屏制造领域，AP Systems 面临着不断增长的降低成本、提高生产力和先进自动化需求。随着行业扩展到更大型的显示屏，需要新技术来应对日益自动化的生产环境中稳定性、精确和全天候正常运行时间的挑战。Coherent 高意 VYPER 准分子气体激光器系统具有卓越的性能，因此需要定期进行运行维护。

“显示屏制造商之间的竞争加剧，促使我们解决传统 ELA 系统的局限性，并探索尖端解决方案，”AP Systems 的设备销售主管、高级副总裁 John Bae 说道。“我们与相干公司的长期合作使我们能够直接应对这些挑战，充分利用他们在激光器和光学元件领域的专业知识。”

解决方案： PYTHON 激光器和 SLA 系统

第 8.6 代 OLED 显示屏制造投资的主要目标是通过提高生产率、延长正常运行时间和提高自动化级别来降低生产成本。但是，为了实现这一业务目标，必须将新一代设备与现有生产工艺集成。在专用设施中建造新的生产线比使用新一代系统改造现有生产线的费用高出一个数量级。

为了满足这些需求，AP Systems 与相干公司合作，将革命性的 PYTHON 激光器集成到下一代 G8.6 SLA（固体激光器退火）系统中。基于 DPSS（二极管泵浦固态）技术，与前代 VYPER 激光器相比，PYTHON 激光器具有更长的使用寿命、更低的维护要求和卓越的稳定性。这种整合导致：

• 改善光束性能：增强的稳定性可显著减少基板缺陷，例如喷射光晕、延长加工窗口并提高 OLED 显示屏性能和使用寿命。
• 无缝集成：经典但具有前瞻性的设计方法促进了 PYTHON 激光器与 AP Systems G8.6 演示系统的顺利集成。
• 面向未来的设计：PYTHON 激光器在采用与 ELA 系统相同的光学系统设计的同时，保持了现有 VYPER 激光器的性能和轮廓。这使其能够实现与 ELA 相等或更好的线束性能，同时保持 ELA 的工艺记录完好无损。这意味着 SLA 可以在即将进行的 G8.6 工艺扩展中实现与 ELA 相同的工艺质量。

实现突破：从演示到全面生产

该合作伙伴关系的成功最终实现了 SLA 演示系统的部署，这些系统获得了主要显示屏制造商的绝大多数积极反馈。这些演示系统不仅验证了 SLA 技术的性能，还为未来的晶圆厂投资奠定了基础。

“我们的 SLA 演示系统改变了游戏规则，”AP Systems 的 John Bae 分享道。“客户非常重视直接评估流程的机会，结果正在为 OLED 显示屏生产设定新的基准。”

实现结果：提高效率和客户满意度

PYTHON 激光器与 SLA 系统的集成带来了切实的好处，包括：

• 降低成本：通过延长激光器寿命并减少维护，该解决方案符合制造商降低生产成本的目标。
• 提高生产效率：稳定的原始光束性能提高了工艺效率并确保了一致的输出，满足了对高质量显示屏日益增长的需求。
• 面向未来：SLA 系统采用可扩展设计，使 AP Systems 在高端 OLED 显示屏采用先进技术方面处于行业领先地位。

展望未来：合作创新之路

基于他们的成功，AP Systems 和 Coherent 将继续推动 OLED 制造的创新。PYTHON 激光器和 SLA 系统将在满足显示屏制造商不断变化的需求方面发挥关键作用，确保更大的屏幕、更高的性能和更好的用户体验。

“我们与相干公司的合作使我们能够改变 OLED 制造格局，”John Bae 总结道。“我们不仅共同应对当今的挑战，而且塑造了高端显示屏的未来。”

这个客户成功案例展示了 Coherent 高意先进的激光技术协作方法如何助力 AP Systems 等行业领导者重新定义 OLED 生产，并为性能和效率设定新标准。

详细了解开创性的 PYTHON 激光器以及相干公司为交付该激光器而克服的挑战。