COMPEX F2 소개: 가장 강력한 VUV 레이저

당사의 최신 COMPex 엑시머 레이저는 157nm 및 193nm에서 듀얼 파장 기능을 제공하여 견고하거나 투명한 재료를 제거할 수 있습니다.

2022년 3월 8일, Coherent

오늘 Coherent COMPex 제품군의 최신 제품이며 가장 강력한 VUV 레이저인 Coherent COMPex F2를 소개합니다.

당사의 새로운 듀얼 파장 레이저는 강력한 진공 UV소스가 필요한 응용 분야의 요구 사항을 충족시킵니다. 특히 F2는 단순히 가스 주입 전환만으로 157nm 또는 193nm 에서 직접 출력을 제공하여 효용과 가치를 극대화합니다.

COMPex F2의 주요 응용 분야

석빙 시료의 LA-ICP-MS 분석
특수 재료의 펄스 레이저 증착 (PLD)
PDMS 및 PTFE(Teflon®)의 직접 패터닝 및 미세 가공

레이저 절삭 LA-ICP-MS(레이저 제거 유도결합 플라즈마 질량 분석법)는 샘플 준비 없이 고체 샘플의 원소 성분 분석을 제공하는 다용도 도구입니다. VUV는 많은 암석 및 북극 얼음 샘플에 필요합니다.

PLD는 박막 필름의 증착법을 위한 빠르게 성장하는 방법입니다. 파장이 짧으면 층 생성 시 재료 스펙트럼을 확장할 수 있습니다. 재료 가공 분야도 마찬가지입니다. 157 nm 및 193 nm의 파장에서는 고순도 쿼츠, 폴리디메틸실록산(PDMS) 및 PTFE(Teflon®)와 같은 재료도 고정밀 패턴화할 수 있습니다.

COMPex F2의 주요 장점

157nm 또는 193nm에서 진공 UV 작동
157nm에서 32mJ 안정화된 펄스 에너지
50Hz 반복률
진공 플랜지에 액세스할 수 있는 기밀 빔 경로

실용적 관점에서, 최신 COMPex F2 레이저는 COMPex 제품군의 모든 장점을 가지고 있습니다. 1) 설치와 작동이 쉬우며 소형 설계를 갖춘 매우 효과적인 광원입니다. 2) 타의 추종을 불허하는 펄스 에너지 및 펄스 안정성, 탁월한 빔 균일성 및 산업용 24/7 신뢰성을 제공합니다.

COMPex 레이저는 또한 대부분의 248 nm 및 308 nm UV 파장 응용 분야에서 표준을 설정합니다. 이러한 응용 분야에는 PLD 박막 필름 성장뿐만 아니라 다양한 유형의 마이크로일렉트로닉스 응용 분야를 뒷받침하는 웨이퍼 분리가 포함됩니다.

COMPex 레이저는 차세대 MicroLED 디스플레이의 자동 생산을 가능하게 하는 최신 Coherent UVTransfer에도 사용됩니다.

다른 COMPex 레이저와 마찬가지로 COMPex F2는 구매일로부터 36개월 또는 10억 펄스 중 먼저 도래하는 날짜까지 포괄적인 보증이 적용됩니다. 설치 서비스도 무료로 제공하고 있습니다.

Coherent COMPex 제품군과 최신 VUV 엑시머 레이저인 COMPex F2에 대해 자세히 알아보십시오 .