레이저

Azure NX

Azure NX

반도체 산업의 산업 환경에 쉽게 통합할 수 있도록 설계된 플랫폼에서 저소음, CW 266nm를 제공하는 소형 차세대 고체 레이저입니다.

Azure NX는 단일 주파수 작동 및 파장 안정화 기능을 제공합니다. LAN 또는 WEB GUI를 통해 수작업이 필요 없는 작동을 제공합니다. 최대 1와트의 deep UV, 미세선폭 및 연중무휴 안정성의 조합은 까다로운 용도에 적합합니다. 

 

Azure NX 266-1000 – 주요 매개변수

이 산업 등급 고성능 266nm 레이저를 반도체 검사, 라만 분광, FBG(Fiber Bragg Grating) 기록, 리소그래피 등에 사용합니다. 

데이터 시트

제품 사양

모델명

출력(W)

선폭(kHz)

 

포인팅(µrad)(활성 안정화)

M2

RMS 소음(%)

(10Hz~500MHz)

Azure NX 266-1000 

1 

500 미만 

20 

1.3 미만 

0.5 미만 

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