光学器件
CVD 金刚石基材
金刚石具备独有的特性优势 - 极宽的传输范围、非凡的硬度以及较高的热冲击和热透镜效应耐受力。
Coherent 采用化学气相沉积 (CVD) 来大批量培养光学金刚石,始终如一地生产出具备低散射、极低吸收和低双折射的材料,而且横截面尺寸和厚度多种多样。
CVD 金刚石特性
Coherent 提供最大直径 145 毫米、最大厚度 2 毫米的 CVD 金刚石材料,导热系数可超过 2200 W/m-K。
等离子化学气相沉积金刚石材料特性 |
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物理特性 |
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结构 |
立方体,多晶 |
晶粒大小 |
厚度取决于工艺 (0.05 - 1 mm) |
等级 |
光学,热学,微波,探测器,机械,定制 |
厚度* |
最大 2 mm |
制造能力 |
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尺寸公差 |
±50 μm |
抛光纵横比 |
直径达 145 毫米时可达 50:1 |
功率 |
<0.5 条纹/厘米 |
不规则度 |
<0.5 条纹/厘米 |
透射波前 |
<0.5 条纹/厘米 |
表面粗糙度 |
<15 nm |
光学特性 |
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体吸收 @ 10.6 μm |
<0.07 cm-1 |
体吸收 @ 1 μm |
<1 cm-1 |
散射 @ 1 μm |
<0.7 cm-1 |
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光学制造能力
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