재료
금속 매트릭스 합성물
높은 비강성과 높은 열 안정성이 고유하게 조합된 재료로 반도체 공정 장비의 열 안정성을 개선합니다.
Coherent COGENTUM 금속 매트릭스 기술은 설계자에게 반도체 장비의 성능을 개선하고 첨단 집적 회로 가공 및 패키징 기술의 문제를 해결할 수 있는 탁월한 유연성을 제공합니다.
COGENTUM 속성
가로 2m, 세로 2m 크기 이상의 구조물에 주조할 수 있는 다양한 합성물 중에서 선택합니다.
금속 특성 |
CONGENTUM® 초록 |
CONGENTUM ® 파랑 |
CONGENTUM ® 골드 |
밀도(g/cc) [ρ] |
2.78 |
2.80 |
2.96 |
푸아송비 |
0.29 |
0.29 |
0.25 |
탄성계수 - GPa [E] |
125 |
143 |
200 |
CTE 평균 20-100ºC(ppm/K) [α] |
15 |
12 |
11 |
열전도율(W/m-K) [k] |
160 |
164 |
160 |
비열(J/kg-K) |
820 |
800 |
730 |
인장강도(MPa) |
370 |
320 |
340 |
파괴 인성(MPa-m1/2) |
15 |
13 |
13 |
감쇠계수(% Zeta) |
0.26 |
0.26 |
0.58 |
비강성(E/ρ) |
45 |
51 |
68 |
온도 안정성(k/α) |
11 |
14 |
14 |
