イオンインプラント

イオンインプラントファウンドリサービス

当社は、お客様のイオンインプラントのニーズを満たすフルサービスのパートナーシップを提供しています。どのようなボリューム、どのような用途にも確実に対応し、需要の急増にも対応できる能力を備えています。

Coherentの世界クラスのイオンインプラントファウンドリは、300 mmウェハの生産量から、より小さなウェハサイズやチップの研究開発、化合物半導体基板への加熱注入まで、あらゆる形態のインプラント要件に対応できます。

主な機能

比類のない体験

Coherentは、業界で最も経験豊富なイオンインプラントアプリケーションチームを活用して、お客様の成功を最適化するための最も迅速でコスト効率の高い手法を以下の点に関して提供しています。

  • シリコンおよび化合物半導体基板
  • 加温・常温インプラント
  • 研究開発
  • インプラントモデリングと加工方法のマッチング
  • 小型のウェハサイズ

信頼できるパートナー

インプラントのパートナーとして、以下の目的でCoherentをご利用ください。

  • 市場の拡大や変化に対応
  • イオンインプラントシステムの予期しない故障からの回復
  • イオンインプラントプロセスの一部または全工程の外部委託
  • 48時間の納期に対応

総合資料

  • シリコン
  • GaAs/InP
  • SiC
  • GaN
  • DIAMOND
  • LiNbO3/LiTaO3
  • InSb
  • ZnSe
  • SiO2/Si